Завод «Микрон» получил контракт на создание установки «Лучник»

Завод «Микрон», входящий в состав группы «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание автоматизированной установки под названием «Лучник», которая будет предназначена для измерения рассовмещения топологических слоев. Контракт оценивается в 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование является ключевым элементом в производственном процессе микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная задача проекта — разработка отечественного аналога американской установки ARCHER 10 XT от компании KLA Tencor. Установка будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, контролировать точность наложения слоев до 130 нм и обеспечивать производительность не менее 75 пластин в час. Разработка требует высокой точности, включая движение предметного столика с нанометровой погрешностью и создание линз с высокой числовой апертурой. Работы должны быть завершены до июля 2029 года. Поскольку «Микрон» является как разработчиком, так и заказчиком, наличие производственной линии 200-миллиметровых пластин будет способствовать тестированию прототипов в реальных условиях.

Понравилась статья? Поделиться с друзьями: