Литографические сканеры не являются единственным необходимым оборудованием для производства полупроводников. Несмотря на сложности с освоением EUV-технологий, китайские производители все чаще используют местное оборудование. В 2022 году доля таких технологий в стране достигла 35%, превысив план на 2025 год, который предусматривал 30%. Для сравнения, в 2024 году этот показатель составлял лишь 25%.
Китайские изделия в сегменте оборудования для травления и нанесения тонких пленок уже занимают более 40% рынка. Например, оборудование для травления 5-нм чипов проходит валидацию на линии тайваньской TSMC.
Компания Naura занимает более 60% в производстве 28-нм чипов для SMIC, а на линиях YMTC доля оборудования Piotech удвоилась до 30%. Однако в области контрольно-измерительных машин и литографических сканеров импортозамещение пока не превышает 25% и 18% соответственно.
Спрос на китайское оборудование вырос на 80%, и власти требуют, чтобы новые линии комплектовались местным оборудованием на 50%. Субсидии на закупку отечественной техники стимулируют рост, с 421 заказом на сумму $122 млн в прошлом году.