Россия разрабатывает литограф для чипов с топологией 90 нм

С 2026 года в России начинается создание литографа для чипов с топологией 90 нм. Об этом сообщил Василий Шпак, заместитель министра промышленности, на научно-технической конференции в марте 2026 года. Исполнитель проекта будет выбран через конкурс, а его разработкой займётся Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗТНЦ) вместе с белорусским предприятием «Планар», которое уже работало над литографами 350 нм и 130 нм. Генеральный директор ЗТНЦ Анатолий Ковалёв пока не определился с участием в конкурсе. В ноябре 2026 года планируется завершение разработки 130-нанометрового степпера. Как отметил эксперт Дмитрий Пшиченко, создание нового литографа может занять от пяти до десяти лет и потребует значительных инвестиций. Однако локализация технологий позволит сократить сроки до четырёх лет. Ожидается, что модернизированный литограф на 130 нм сможет обеспечивать производство чипов 90 нм.

Понравилась статья? Поделиться с друзьями: