Министерство промышленности и торговли России объявило о разработке первого в стране оборудования, предназначенного для производства микрочипов. Это оборудование, по информации ведомства, представляет собой вакуумную установку, способную обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров и производить электронные компоненты с нормами до 65 нанометров.
Разработка была осуществлена АО «НИИМЭ» в сотрудничестве с АО «НИИТМ», в результате чего появились кластерные установки для плазмохимического травления и осаждения. В Минпромторге отметили, что это является важным шагом к созданию полного цикла производства микроэлектроники в России, что способствует увеличению независимости страны в высоких технологиях.